型號:DSI-3000
針對半導體晶圓切割(die saw)後造成的(de)背崩和(hé)隱崩等缺陷做(zuò)檢測,全自(zì)動的(de)晶圓紅外(wài)線≥檢查機可(kě)自(zì)動的(de)檢測出異常缺陷,降低(dī)了(le)人(rén)為判斷的(de)不(bù)確定性與時效性,且不(bù)須挑die(pick &↔ place)即可(kě)檢測,提升產品品質的(de)管控,也(yě)提供wafer mapping,缺陷影(yǐng)像輸出及統計資訊...等功能(néng)。

機台特性:

  • 花(huā)崗岩基座
  • 可(kě)支援8” & 12” 晶圓
  • 高(gāo)解析度IR顯微(wēi)鏡系統
  • 自(zì)動load/unload系統
  • 自(zì)動軟體判斷-隱崩檢測 
  • 可(kě)用(yòng)於recon後檢測